本文聚焦国内半导体高端制造领域真空蝶阀控制系统控制精度低、可靠性差、依赖进口等难题，深入开展超高精度真空蝶阀控制系统关键技术研究。通过构建与优化“磁-电-机械-流体”多物理场数学模型，研究非线性与时变参数影响，设计先进控制策略并研制专用硬件。研究成果对实现国产化替代、打破国外技术垄断、提升我国半导体工艺水平意义重大，为高端制造领域核心部件自主化提供有力支撑。