本文通过 SiC PIN 的 CV 测试可快速无损地获得器件参数并评估器件性能，具有优化指导和缺陷诊断作用。主要 运用了公式推导、实验测试、数据储存及数据导出与拟合等方式，结合分析讨论的方法展开研究。然后，对 SiC PIN 结的 C-V 图像及其特性表征进行了完整分析，并阐述了分析成果的意义。本课题的研究一定程度上有助于产业化实践中对 SiC PIN 的研发、监测及生产。