半导体洁净厂房接地系统探讨分析
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刊名 《科技研究》
作者 李欢 (中电系统建设工程有限公司 北京市丰台区 100071) 英文名 年,卷(期) 2025年,第6期
主办单位 华文科学出版社 刊号 ISSN:3079-9244(原2717-5480) DOI 10.12421/kjyj3079-9244-202506037

半导体洁净厂房接地系统探讨分析

半导体厂房(通常称为 FAB 厂)的接地系统是其生命线之一,是确保人身安全、设备稳定运行和产品高良率的 基石。其接地系统远比普通建筑复杂和精密,可以看作是一个多层级的保护网络。

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